Gravure ionique réactive profonde

Commune · Savoir · technologie

2Gravure ionique réactive profonde

Savoir, technologieC

Érudition. En arrivant : pioche une carte.

1 769

1 626

Pl. 1039626WikiArcana

Cette carte peut sortir de tes packs

10 packs offerts, sans paiement · 1,58 million de cartes

Recevoir mes 10 packs

D'où viennent les stats

Attaque: 1 769
Richesse : 14 déclarations, comparé aux autres cartes du même type.
Défense: 1 626
Rayonnement : 9 sitelinks, comparé aux autres cartes du même type.

Résumé Wikipédia

La gravure ionique réactive profonde est un procédé de gravure ionique réactive fortement anisotrope utilisé en micro-électronique. Il sert à créer des trous et des tranchées profondes dans des wafers avec un rapport largeur/hauteur de 20/1 ou plus. Cette technique a été développée pour les microsystèmes électromécaniques (MEMS) qui nécessitent ce type de fonctionnalités mais est aussi utilisée pour creuser des tranchées pour les condensateurs à haute densité de la DRAM ainsi pour développer les TSV dans le cadre de l'intégration tridimensionnelle. Il existe de nombreuses méthodes pour la gravure des motifs à fort facteur d'aspect, le plus utilisé d'entre eux étant les procédés Bosch et cryogénique..

Lire l'article sur Wikipédia

Texte : extrait de l'article Wikipédia « Gravure ionique réactive profonde », sous licence CC BY-SA 4.0.

Données : Wikidata (CC0). Image : MIT 6.777J - 2.372J Design and Fabrication of Microelectromechanical Devices, Spring 2007 - DRIE with Etch Stop - 3504187405.jpg sur Wikimedia Commons ; auteur et licence sur la page du fichier.

Signaler cette carte

Finitions

Chaque carte peut sortir d'un pack en plusieurs finitions ; le pourcentage est la chance qu'une carte tirée sorte dans celle-ci. Shiny et Gold renforcent aussi ses stats.

Cartes liées

Ces sujets sont reliés à Gravure ionique réactive profonde dans Wikidata. En combat, posées sur le même territoire, les cartes liées se renforcent : +1 par lien (jusqu'à +3).

5Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs